Technologies génériques de microfabrication Tome 1 - E-book - PDF

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Michel De Labachelerie - Technologies génériques de microfabrication Tome 1.
Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches... Lire la suite
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Résumé

Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm

Caractéristiques

  • Caractéristiques du format PDF
    • Pages
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    • Taille
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